1. Metodu tal-Kulur Dot: Applika trab taċ-ċomb aħmar b'mod ugwali fuq il-wiċċ li jrid jitkejjel. Wara li togħrok fuq pjanċa standard, se jidhru tikek qawwi. F'żona ta '25mm × 25mm, jekk it-tikek huma mqassma b'mod uniformi u numerużi (eż., Akbar minn jew ugwali għal 20 punt), il-flatness hija aċċettabbli. Dan il-metodu huwa adattat għal kejl mhux maħdum rapidu, iżda għandu preċiżjoni aktar baxxa.
2. Metodu ta 'Interferenza Ċatta Ottika: Agħfas ċatt ottiku (flatness<0.1λ) onto the surface to be measured to form an air wedge interference cavity. If straight, uniform interference fringes appear under monochromatic light, the flatness is good; if the fringes are curved, the error needs to be calculated:
Marġinali Annulari: Valur ta 'żball=numru ta' trufijiet × λ/2 (λ huwa l-wavelength tad-dawl).
Marġiela dritta: Valur ta' żball=kurvatura × spazjar marġinali/2.
Dan il-metodu jikseb preċiżjoni fil-livell nanometru-u huwa adattat għall-ispezzjoni ta' pjan-żgħir.
3. Metodu Indikatur: Bl-użu ta 'pjanċa standard bħala referenza, kejjel il-wiċċ punt b'punt b'mikrometru. Jekk jintuża l-metodu ta' tliet-punti għall-aġġustament, id-differenza bejn il-qari massimu u minimu hija l-valur tal-iżball; il-metodu taż-żona minima jeħtieġ kalkolu matematiku. Joffri preċiżjoni għolja iżda huwa diffiċli biex topera.
4. Kollimatur/Metodu tal-Livell: Il-kejl jittieħed f'punti rranġati fi gradilja, u d-devjazzjoni ta 'kull punt relattiva għar-referenza hija rreġistrata. L-iżball tal-flatness huwa kkalkulat bl-użu tal-metodu tal-inqas kwadri jew il-metodu taż-żona minima tal-konfini. Adattat għal spezzjoni ta'-erja kbira, iżda teħtieġ ambjent stabbli.
